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MEMS技术在海洋观测中的应用

 


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本文摘要:微机电系统(MEMS),在欧洲也被称作微系统技术,或在日本被称作微机械,是一类器件,其特点是尺寸较小,生产方式类似。

微机电系统(MEMS),在欧洲也被称作微系统技术,或在日本被称作微机械,是一类器件,其特点是尺寸较小,生产方式类似。MEMS是指使用微机械加工技术批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、模块、通讯相等一体的微型器件或微型系统。

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MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米--1微米可是要比人们头发的直径小很多。MEMS往往不会使用少见的机械零件和工具所对应微观仿真元件,例如它们有可能包括地下通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而,MEMS器件加工技术并非机械式。

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忽略,它们使用类似于集成电路批处理式的微生产技术。今天很多产品都利用了MEMS技术,如微换热器、喷墨打印头、高清投影仪的微镜阵列、压力传感器以及红外探测器等。MEMS技术可以用作生产压力传感器、惯性传感器、磁力传感器、温度传感器等微型传感器,这些传感器以及它们的部分信号处理电路都可以在只有几毫米或更加小的芯片上构建。

与传统的传感器比起,MEMS传感器不仅体积更加小、功耗更加较低,而且它们往往不会比传统传感器更为精确、更为灵敏。随着人们对海洋观测的市场需求大大减少和海洋观测技术的大大发展,MEMS技术也在渐渐转入海洋观测技术研究领域。一、我们为何必须MEMS?“他们告诉他我一种小手指指甲大小的电动机。

他们告诉他我,目前市场上有一种装置,通过它你可以在大头针头上写出圣诗。但这也没什么;这是最完整的,只是我想辩论方向上的停止的一小步。

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在其下是一个难以置信的小世界。公元2000年,当他们总结当前阶段时,他们不会想要告诉为何直到1960年,才有人开始严肃地朝这个方向希望。


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